3D共聚焦显微镜
VT6100共聚焦显微镜
• 噪声评价功能
轻松获取外界环境施加到仪器自身的振动干扰，准确判断当前环境的适配度
• 独有的镜头防撞设计
确保在使用高倍物镜面临极小工作距离时也能保障镜头和样件安全
产品参数
| 仪器型号 | VT6100 | |
|---|---|---|
| 行程范围 | X | 100mm (电动) |
| Y | 100mm (电动) | |
| Z | 100mm (电动) | |
| 外形尺寸 | 520×380×600mm | |
| 仪器重量 | 50kg | |
| 测量原理 | 共聚焦光学系统 | |
| 显微物镜 | 10×, 20×, 50×, 100× | |
| 视场范围 | 120×120μm~1.2×1.2mm | |
| 高度测量 | 重复性*¹(1σ) | 12nm |
| 精度*1 | ± (0.2+L/100)μm | |
| 显示分辨率 | 0.5mm | |
| 宽度测量 | 重复性*²(1σ) | 40nm |
| 精度*2 | ± 2% | |
| 显示分辨率 | lnm | |
| XY位移平台 | 负载 | 10kg |
| 控制方式 | 电动 | |
| Z0轴扫描范围 | 10mm | |
| 物镜塔台 | 5孔电动 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 工作环境 | 电源 | 100-240V AC, 50/60Hz, 2A 功率300W |
| 工作温度 | 温度15℃~30℃, 温度梯度<2℃/60分钟 | |
| 相对湿度 | 5%~95%RH, 无凝露 | |
| 环境振动 | VC-C或更优 | |
| 其他 | 无强磁场，无腐蚀气体 | |
*1在实验室环境下使用50X物镜测量4.7μm标准台阶样块
*2在实验室环境下使用50X物镜测量标准刻线样板
软件平台Xtremevision Pro
自研3D显微测量软件平台Xtremevision Pro
Xtremevision Pro
全自主开发的第二代显微3D测量软件平台，集成了图像扫描、3D分析、影像测量、自动化测量等四个大的模块化功能，能够完美适配中图W系列、VT系列、WT系列所有3D仪器机型，可自主识别机型种类，二合一机型可在白光干涉和共聚焦显微镜中做到自动切换扫描模式。
Xtremevision Pro 移植了中图在影像闪测领域的成功经验，重构了显微影像测量功能，可针对微观平面轮廓尺寸的点、线间的距离、角度、半径等参数进行直接测量和自动匹配测量。
自动化mark点识别坐标定位自动化功能
Mark点影像识别自动坐标位置校正，多区域坐标点位自动定位测量与分析，可组合式完成粗糙度、轮廓尺寸的批量自动化测量
自动拼接功能
支持方形、圆形、环形和螺旋形式的自动拼接测量功能，配合影像导航功能，可自定义测量区域，支持数千张图像的无缝拼接测量
应用案列
半导体行业 抛光、光刻、干/湿法刻蚀、激光加工
针对半导体制造工艺中经常用到的抛光工艺，包含晶圆正面抛光和背面减薄抛光、光刻工艺形成的大深宽比沟槽或图案、干/湿法刻蚀形成的沟槽结构、镀膜工艺形成的台阶高度、激光加工形成的镭射槽道等微观形貌，中图光学3D显微测量产品均能够实现高精度的测量效果，实现亚纳米级粗糙度、纳米级台阶高度、超大深宽比的沟槽形貌等参数测量
超精密加工应用案例
3C电子·蓝宝石玻璃制品(光面)应用案例
从校平后的3D图像及提取的剖面轮廓曲线来看，半成品的蓝宝石玻璃光面上分布有许多1~2nm的凸起，而从sa和ra数值对比来看，该蓝宝石制品的粗糙度一致性较好，表面比较均匀。
